?在選擇
壓力傳感器的時候我們要考慮傳感器的綜合精度,而壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?
1、偏移量誤差:由于壓力傳感器在整個壓力范圍內垂直偏移保持恒定,變換器擴散和激光調節(jié)修正的變化將產生偏移量誤差;
2、靈敏度誤差:產生誤差大小與壓力成正比,該誤差的產生原因在于擴散過程的變化;
3、線性誤差:對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產生原因在于硅片的物理非線性;
4、滯后誤差:在大多數(shù)情形中,壓力傳感器的滯后誤差完全可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度,一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。