微型傳感器是較為成功并具實用性的微型機電器件,主要包括利用微型膜片的機械形變產(chǎn)生電信號輸出的微型壓力傳感器和微型加速度傳感器;此外,還有微型稱重傳感器、磁場傳感器、氣體傳感器等,這些微型傳感器的面積大多在1 mm2以下。
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隨著微電子加工技術,特別是納米加工技術的進一步發(fā)展,傳感器技術還將從微型傳感器進化到納米傳感器。
這些微型傳感器體積小,可實現(xiàn)許多全新的功能,便于大批量和高精度生產(chǎn),單件成本低,易構成大規(guī)模和多功能陣列,這些特點使得它們非常適合于汽車方面的應用。
汽車用傳感器是用于汽車顯示和電控系統(tǒng)的各種傳感器的統(tǒng)稱,它涉及到很多的物理量傳感器和化學量傳感器,這些傳感器要么是使司機了解汽車各部分狀態(tài)的;要么是用于控制汽車各部分狀態(tài)的。
汽車用溫度傳感器主要用于檢測發(fā)動機溫度、吸入氣體溫度、冷卻水溫度、燃油溫度以及催化溫度等,溫度傳感器有熱敏電阻式、線繞電阻式和熱偶電阻式三種主要類型。
這三種類型傳感器各有特點,其應用場合也略有區(qū)別。熱敏電阻式溫度傳感器靈敏度高、響應特性較好,但線性差、適應溫度較低。
其中,通用型的測溫范圍為-50℃~30℃,精度為1.5%,響應時間為10 ms;高溫型為600℃~1000℃,精度為5%,響應時間為10ms;線繞電阻式溫度傳感器的精度高,但響應特性差;熱偶電阻式溫度傳感器的精度高,測量溫度范圍寬,但需要配合放大器和冷端處理一起使用。
其他已實用化的產(chǎn)品有鐵氧體式溫度傳感器(測溫范圍為-40℃~120℃,精度為2.0%)金屬或半導體膜空氣溫度傳感器(測溫范圍為-40℃~150℃,精度為2.0%,5%,響應時間約20 ms)等。